扫描仪是大约50年前在基尔（德国）发明的，从Rudolf Hell博士发明的传真机开始。它的设计目的是为报纸行业传输信息，并且能够以图像光栅化的形式将文件转为线条和像素。
这个单元配备了一个感应鼓，并且第一次也可以通过电子方式读取颜色原始值，将颜色值转换成电流。光电倍增管利用“光传感器”将入射光转换成电流并放大它，从而达到一个高密度的范围。
这种昂贵的、复杂的设备后来发展成为“平板扫描仪”，它使用了一种不同的、更具成本效益的技术——CCD元件，形成了一种“扫描线”，它使用了一系列颜色敏感的光电二极管来读取图像并将其复制成彩色。
进一步的扫描仪发展是根据不同的需求：不同规格的平板扫描仪的、为三维物体自由移动镜头的摄像机扫描仪、针对底片和幻灯片（胶片）扫描的透射扫描仪等等。
后来，CCD线被CCD芯片（Bayer芯片）所取代，该芯片可以通过读出RGB-Bayer矩阵来读取一秒内的彩色文档。第一个扫描器可以解析8位(28)，然后10位(210)，然后12位(212)为4094灰度，今天的扫描器可以区分16位(216)，或65000灰度。然而，人的眼睛不能感知所有的人。